電容式壓力變送器:
①電容式變送器采用微位移式的工作原理,并采用差動電容作為檢測元件,因此整個變送器無機械傳動和機械調整部分,其*可微動的部分是一個有預張力的中心感壓膜片,因此其結構非常簡單。同時測壓部分應用了液壓傳遞原理,因此測壓部件主要結構只有感壓片和弧形容室,并全部采用熔焊的固體化結構,從而使變送器具有高度、高穩定性、高可靠性和高抗振性。
②電容式變送器的調零和調量程等全部采用多圈電位器來進行調整,并能在不打開殼蓋情況下在外部對全測量范圍作連續均勻的調節,其量程的可調范圍為1:6以上。而量程始點的遷移,在整個測量范圍
內無論正遷或負遷移,只要撥動一下開關就能實現,因此使用和維護都非常方便。
③具有阻尼調節裝置,因此可用于脈動壓力的測量。
④采用球形曲面的過載保護結構,這不但使結構大為簡化'而且與一般的“波紋靠背”的過載保護相比,其可靠性更勝*。
⑤電容式變送器有一般型、隔爆型和安全火花型。
擴散硅式壓力變送器:這種變送器采用半導體硅作感壓元件。硅半導體材料具有壓阻效應,在壓力作用下,硅晶格間隙發生變化,導致載流子遷移率的改變,從而引起電導率變化。對于半導體電阻
體,當機械變形時,電阻率的相對變化率遠大于外形尺寸L、A的相對變化率,其電阻變化率主要是壓阻效應造成,當半導體壓阻片與彈性元件處于一體,受壓而發生同一應變時,應變量e與被測壓力p成正比,說明半導體壓阻片的電阻變化率與被測壓力成正比,由此可測出壓力的變化。當被測壓力(差壓)在全量程范圍內波動時(相應壓敏電阻變化量為AR),變送器輸出統一信號為4~20mA。變送器中,采用IC(集成電路)技術直接在硅膜上擴散形成應變測量橋路元件,因此體積可做得很小。變送器具有度高、直接輸出直流信號、線性度好、適用溫度范圍廣、重量輕、體積小、結構簡單等特點,可用于靜壓、動態壓力測量。